半導体露光装置の制御システム

半導体露光装置で主機能となる露光制御ソフトを開発。
露光制御、搬送系制御、アライメント制御などの設計、プログラミング、デバッグまでの幅広い作業を担当しています。
また、装置メンテナンスツール、地震検知機能、装置エラー発生時の復帰機能などの開発もおこなっています。

半導体露光装置のオンライン・システム

SECS、GEMをベースに、半導体露光装置とエンドユーザーのホスト間との通信制御ソフトを開発。

通信ハンドラーにはGWGEMを利用し、GEMに準拠したソフト開発をおこなっています。
その反面、お客様毎にカスタマイズされた様々な仕様にてソフト開発を行っており、お客様毎に最適な仕様にて開発させて頂いています。

露光装置のデータ管理システム

SQLServerやOracleを使用し、露光装置の多大な情報を管理するシステムを開発。
露光装置には多種多様なデータが存在します。これらを円滑に利用するためにはデータベースが必須となります。
またこれらのデータはお客様にとって大事な資産であるため、保守、メンテナンスを同時に提供しています。

露光装置のログファイル管理システム

露光装置に動作状況、エラー状況などを視覚的に分かりやすくするため、ElasticSearchやKIBANAといった外部ツールを導入し、装置状況の可視化をおこなっています。
これらの情報の可視化により、重大な問題が発生する前に問題を解決出来たり、装置のメンテナンス時期の割り出しといった事が容易になります。

SECS・HSMS 通信ハンドラーの評価

SDR、GWGEM、EqBlanなどの通信ハンドラーの評価もおこなっています。
現在のオンラインシステムにおいてこれらの通信ハンドラーは必須となっており
システムに組み込む前に、目的にあった動作が正常におこなえるかを評価しています。

レガシーシステムの解析

旧機種で担当者がいないような状況というは昨今珍しい事ではありません。
このような場合、当社ではソース解析、資料作成などを行いシステムを明確化いたします。

また、旧機種の改造依頼があった場合にも、解析、改造方針のご提案、開発までを請け負っています。

 

※ SDRは、カナダ PEER Intellectual Property Inc.社の米国における商標です。
※ GWGEMは、カナダ PEER Intellectual Property Inc.社の米国における登録商標です。
※ EqBlanは、横河電機株式会社のソフトウェアパッケージ名です。
※ SECS(SEMI Equipment Communications Standard の略)
※ GEM(Generic Model For Communications and Control of Manufacturing Equipment の略)