オンライン制御ソフト

SECS、GEMをベースに、液晶露光装置とエンドユーザーのホスト間との通信制御ソフトを開発。
システム設計、プログラミング、デバッグ、現地テストまでの幅広い作業を担当しています。

現在の液晶露光装置では、オンライン制御ソフト無しで動作する事はまずありません。
装置の状況、状態等は細かく管理され、それらの状態をリアルタイムでホストに通知する必要があるため処理シーケンスには細心の注意を払い開発しています。

また、GEMをベースとしていますが、お客様毎にカスタマイズされた様々な仕様にてソフト開発を行っています。

液晶露光装置のデータ管理ソフト

複数の液晶露光機のレシピをネットワーク上に設置された外部サーバー上で一括管理するソフトを開発。

また、外部の測定器にて計測されたアライメント結果を元に露光時の補正値を算出し、各レシピに最適な補正値を設定する機能もあります。
最適化されたレシピは各液晶露光装置にフィードバックされ、より精密な露光を行うために必須となるシステムとなっています。

 

※ SECS(SEMI Equipment Communications Standard の略)
※ GEM(Generic Model For Communications and Control of Manufacturing Equipment の略)